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    “了不起啊,小陆,你们了不起啊。”
    沙领导满意道:“我记得是7年前还是8年前,也是在这里,你让我看的是65nm干式光刻机,还向我保证绝对能搞出属于我们自己的国产的浸润式光刻机,我本来以为要花10年甚至更长的时间,没想到你给了我们一个大大的惊喜啊!这么快让你们搞出来了!”
    “哪里,哪里,领导。”
    陆飞露出谦虚而内敛的笑容。
    “说说吧,到底是怎么搞出来的?”
    沙领导眼里满是赞赏之色。
    “其实这并不是逻辑和中微两家的功劳,我们只负责整体的统筹调度和集成研发。”
    陆飞笑道:“duv浸润式光刻机能成功,完完全全归功于参与到整个项目的全体员工、科研人员们,是他们的血汗和信念,才有了今天的光刻机,当然也离不开领导们的支持,地方上的政策,还有相关公司、院校、国企单位的合作。”
    顿了顿,“可以说,这台duv浸润式光刻机凝结了华夏半导体从业人员的智慧和野心,也代表着目前国内光刻机的最高水平,距离国际一线的euv光刻机,只有一代的代差了。”
    “生产7nm的良品率是多少?”
    郑韩脸上挂着得意的笑容。
    毕竟,如此国之重器出自张江技术园区,沪市毫无疑问当得上“华夏半导体之都”。
    “不同的芯片不同的良率,但基本能稳定在70%,慢慢调试改进,可以达到80%。”
    陆飞比比画画道:“完全可以比肩amsl,只用4个光罩、4次曝光,就可以达到7nm制程工艺。”
    沙领导问道:“现在逻辑和华为的手机用的都是7nm制程工艺的芯片对吗?”
    陆飞点了下头,“没错,7nm是目前市面上最先进的制程工艺,不过根据摩尔定律,再过个一两年,就可能突破到5nm。”
    “5nm是不是就需要euv光刻机了?”
    郑韩好奇道。
    “有euv光刻机固然是好,只要一次曝光,一个光罩就能实现7nm、5nm,但没有euv光刻机也无妨,有这台duv浸润式光刻机也可以做到。”
    陆飞露出个看似轻松的笑容。
    “喔?”
    顷刻间,一众领导的目光齐聚于他。
    “梁博士想到的方案,如果把光刻机极限使用,经过6个光罩,9次曝光,也可以实现5nm工艺。”陆飞直截了当地回答。
    一个戴着玳瑁眼镜的领导担忧道:“光刻机这么极限使用,会不会影响到使用寿命?”
    “还有良率。”
    “是啊,经过这么多道曝光,任何一道工序失败,都可能满盘皆输,成本就上来了……”
    领导们来回分析,议论纷纷。
    陆飞只能一一回答,“损害寿命肯定会损害,良率低也肯定会低一些,成本自然也就会高一点,但这是没有办法的办法,目前euv光刻机国产化要实现彻底突破,还有不少技术难题摆在面前,需要时间去攻破。”
    “比如呢?”
    沙领导投去问询的目光。
    “光刻机的技术难点主要集中在光源、反射镜、工作台,现在双工作台已经解决了,光源问题也突破了,就剩下物镜系统。”
    陆飞直说道:“amsl、尼康的光刻机用的是蔡司的技术,但蔡司愿意卖给amsl、尼康,但绝对不会出口给我们。”
    然后叹了口气,“没办法,我们只能从零开始,联合长春光机、徕卡、华为等联合研发,现在搞定了duv浸润式的物镜系统,至于euv的,恐怕需要很长一段时间。”
    “那这期间,复芯、中芯的晶圆代工,有没有可能会被台积电、英特尔的差距拉大?”
    郑韩皱了皱眉。
    “肯定会,但好在情况并不糟糕。”
    陆飞笑道:“虽然5nm是目前我们的极限,理论上而言,台积电、英特尔、三星这些有euv光刻机的,制程工艺甚至可以冲击到1nm,但得到的回报并不会太高。”
    不少领导感到奇怪,“为什么这么说?制程工艺难道不是越先进越好嘛?”
    “理论上是这样,但事实是现在全球智能机领域已经有‘性能过剩’的趋势,搭载5nm芯片的手机体验,未必就不如3nm,就会让3nm及以下工艺陷入一种尴尬的地步,飙升的成本却只得到微弱的性能提升。”
    陆飞嘿然一笑,“反倒是28nm、14nm和7nm这三个节点的工艺才是市场主流,特别是我们国内绝大部份的芯片需求,所以有了国产的duv浸润式光刻机,基本可以保证我们不会也不怕被卡脖子,也能保证支撑到我们研发出euv光刻机的那一天。”
    众人两两相望,相视一笑。
    确实,28nm是集成电路产能中划分中低端跟中高端的分界线。
    除了对功耗要求比较高的cpu、gpu、ai芯片外,其余的工业级芯片用的都是28nm以上的技术,比如电视、空调、汽车、高铁、火箭、卫星、工业机器人、电梯、医疗设备、智能手环、无人机……
    但现在,7nm,甚至不计任何代价,极限可以推到5nm,简直是绰绰有余。
    “你们在资金上、政策上、人才上,或者在其他方面,有没有什么需要我们解决的?”
    沙领导慈眉善目。
    陆飞也不客气,立马张口。
    一个敢提,一个敢接。
    “我还有个提议,希望领导们能支持。”
    “说。”
    “是这样,逻辑这些年一直跟水木大学开展了比较另类的秘密项目,那就是研究直接跳过光刻机,建立光刻厂和光刻车间。”
    “光刻厂和光刻车间?!”
    沙领导、郑韩等人或多或少感到惊讶。
    “对,安装和调试一台duv光刻机需要至少一年的时间。”陆飞一本正经说,“而如果直接造光刻厂,把光刻机的整个供应链连接起来,就可以摆脱以往单台光刻机的生产模式,转为流水线生产,根据不同的精度需求,大规模生产各类精度的光刻机,就能把光刻机,甚至芯片价格打下去,你们觉得怎么样?”
    “嘶~”
    现场技术领域的领导立刻窃窃私语起来。
    “多条路,就多种选择,大胆去试,放手去干,我们永远是你们的坚实后盾。”
    沙领导拍了下陆飞的肩膀。
    “是,领导!”
    陆飞语气里夹着一丝兴奋。
    “《科技日报》最近总结了35项制约我们制造工业的卡脖子技术,不知道你有没有看到?”沙领导往工厂外走去。
    “看了。”陆飞立刻跟上。
    “有什么感想?”沙领导追问。
    “看上去是35项,但实际情况并不对,有很多项目已经被逻辑攻克了,比如航空设计软件、eda设计软件、触觉传感器……”
    陆飞如实说:“有的正在被攻克,像激光雷达,我们就在为未来的智能驾驶系统量身定制商用级的激光雷达。”
    “我知道你和逻辑这些年明里暗里已经做了很多,但这些都不是关键。”沙领导语气认真道,“芯片才是重中之重,毕竟电动汽车、人工智能这些个领域,都离不开芯片。”
    “如果真地卡脖子,也许暂时会是华夏半导体产业的黑暗,但长远老看,何尝不是我们国产半导体崛起的机会?”
    陆飞不以为然。
    想彻底围堵华夏芯片的发展,但是却给了国产一个机会,当“国产替代”形成了风潮,华夏半导体就会爆发巨大的潜能。
    逻辑多年的布局,就能迎来真正的风口!
    从光源系统到物镜系统,从浸没系统到双工作台研发,从光刻胶到光掩模版,从光刻机缺陷检测设备到涂胶显影设备,不管是核心组件,还是配套设施,国产的都将慢慢起飞。
    “说得好。”
    沙领导笑道:“对了,你刚刚说安装调试光刻机需要一年,那么再加上制造,岂不是一台光刻机到真正投产,时间会超过一年?”
    陆飞点了下头,“对,所以我们现在加班加点地赶制,争取对逻辑和华为动手之前,能多造几台就多造几台。”
    郑韩问道:“如果现在逻辑和华为就出现中兴断供的局面,你们又该怎么办呢?”
    “即使高通和其他供应商不向我们出售芯片,我们也不怕,逻辑早就预料到会有这么一天,已经提前做好了备胎计划。”
    “备胎计划?”
    ……
    旧金山,黄金豪宅。
    “妈妈,为什么爸爸这么久都没有来看我们?”混血的陆洋躺在床上,眨了眨眼睛。
    “他很快就会来看我们的。”
    伊凡卡一把拉上窗帘,走到床沿坐下,捧着儿子的额头亲吻了一口,“睡吧。”
    “晚安,妈妈。”
    “晚安。”
    看到他合上眼,伊凡卡关掉床头灯,轻手轻脚地退出卧室,笑容立刻消失。
    就在此时,手机里收到了短信。
    一下子,直奔书房,里面的装修没有变化,依旧保持了陆飞当初的设计,来到电脑前,就见《华盛顿邮报》、《纽约时报》等多家媒体已经报道了对逻辑和华为的制裁——
    逻辑和华为正式加入到清单!
    美利坚供应商集体断供!
    “终于来了!”
    伊凡卡兴奋不已,虽然自己知道陆飞绝对不会轻易地求饶,也不会像中兴那么容易对付,但又如何?无非是抵抗的时间长点而已!
    早晚,都得像中兴一样,乖乖来美。
    一念至此,她拉开最下方的抽屉,暗格里藏着一把钥匙,余光瞄了眼角落不起眼的小房间,推门而入,打开灯光,一道道暧昧的粉色和妖娆的紫色交织在一起,照亮四周。
    墙壁上挂着许多玩具和cosplay服装,该死的记忆立刻涌现而出。
    伊凡卡又想起了在这里的点点滴滴,随手取出一根散鞭,对着空气狠狠地挥舞了两下。
    顿时间,一声声破空声乍响!
    紧接着,鞭子落在绑在十字架上的布偶身上,就见脸部贴了张“陆飞”的肖像照片。
    “啪啪啪!”
    “为什么不来美利坚!”
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